金春水

金春水 研究员
1964年10月生，研究员，博士生导师，极紫外成像光学技术学术带头人，国家科技重大专项02专项总体专家组专家。
负责主持研制了国内第一套极紫外投影光刻原理实验装置，国内首次获得极紫外投影光刻复制的深亚微米掩模图形；发展了极紫外多层膜膜厚空间分布方法，攻克了极紫外均匀、梯形多层膜应用于极紫外投影光刻曝光系统中亟待解决的关键问题；负责主持开展了深度截止“日盲”紫外带通滤光片的开发应用研究，成功研制出我国首台可在日光条件下实现电力系统电晕诊断的“日盲”紫外／可见光双谱段成像探测系统。作为项目组长负责主持国家科技重大专项02专项中“极紫外投影光刻关键技术研究”项目的研究工作。
培养博士研究生6名、硕士研究生4名；申请发明专利5项；发表学术论文30余篇。

教育背景
2000-09--2003-06 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 博士学位
1987-09--1990-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 硕士学位
1983-09--1987-06 浙江大学 学士学位

http://people.ucas.ac.cn/~jinchunshui
http://www.sklao.ac.cn/troop/show/225.aspx