邹海兴

邹海兴 1938年10月4日生，江苏无锡人。中国科学院上海光学精密机械研究所副研究员。1962年毕业于浙江大学光学仪器工程学系，1966年研究生毕业于中国科学院长春光学精密机械研究所。专长光学仪器、气体激光、微电子专用设备。1986年因1：1扫描投影光刻机获上海市科学技术进步一等奖。