蒋新元

蒋新元： 中科院上海冶金研究所研究员，男，浙江杭州人，1929年1月生，1951年浙大化工系毕业。主要从事离子束技术及其在半导体和绝缘体等方面的应用研究。1969年10月负 责建成我国第一台200千电子伏离子注刁机并应用于降低CMOS手表电路的阀值电压和 微波晶体管的研制等方面，获上海市和全国科学大会奖；1974年和中科院上海原子核 研究所协作，建立了卢瑟福背散射/沟道技术设备；1985年与其它单位协作并作为技 术总负责人完成了60万负重离子注入机，获1986年中科院科技进步二等奖。发表了有 关该机及其应用的论文10余篇。