胡亮

胡亮，浙江大学机械工程学院副教授、博导。2004年浙江大学机械电子本科，2010年6月获浙江大学机械电子工程专业博士学位，2010~2012年于浙江大学力学流动站从事博士后工作，2013年于英国牛津大学流体实验室从事访问学者工作，2014年至今为浙江大学机械工程学院副教授、博士生导师。现就职于浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室，隶属于微纳技术与精密工程研究所，为浙江大学副教授、博导、求是青年学者，曾获2012年度全国百篇优秀博士学位论文提名奖。在《Physical Review Letters》等国际知名期刊发表SCI论文40余篇，获授权发明专利20余项。担任SCI期刊 《Flow Measurement and Instrumentation》编委以及SCI特刊《Flow Control》的Managing Guest Editor。长期从事面向IC制造的超洁净流控元件与系统研究。
2013年，与团队一同创立浙江启尔机电技术有限公司，并任公司副总经理、启尔研究院院长。2017年，公司获国家科技重大专项02专项课题支持，成为国产光刻机核心部件定点研制与生产单位。主要从事面向集成电路制造的超洁净流控元件与系统研究。作为核心技术人员，参与国产浸没式光刻机核心部件——浸液系统研制工作，现为科技部“国产光刻机工程指挥部”调度会成员、“中国集成电路创新发展青峰论坛”成员。开展光刻机极紫外光源锡靶液滴发生器、超纯流体泵/阀、超纯流量传感器与控制器等超洁净流控元件研制，为光刻机及其他集成电路制造装备提供核心基础件支撑。发表SCI/EI论文50余篇，并任SCI国际期刊《Flow Measurement and Instrumentation》编委。

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