王跃林

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   王跃林,男,1959年,江西省南昌人,1982年在浙江大学获学士学位,1985年在哈尔滨工业大学获硕士学位,1989年在清华大学获博士学位。1985年8月到1998年1月在浙江大学信电系工作,1995和1996年曾应邀分别到香港科技大学和日本东北大学访问研究一年,1998年通过中国科学院“百人计划”到上海冶金研究所任研究员主持微机械研究工作,历任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员、博导、室副主任、主任,1999年10月起任上海微系统所所长助理。2003年6月起兼任上海微系统所学术委员会主任。2003年3月任上海市政协委员、长宁区政协副主席。2009年4月起任上海微系统所副所长。
  1999年被科技部聘为973项目“集成微光机电系统研究”首席科学家,2004年7月入选首批“新世纪百千万人才工程”国家级人选。2005年度再次被科技部聘为973项目“BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究”的首席科学家。
  1987年他在国际上较早开展了将硅/硅键合技术应用到压力传感器的研究工作,独立提出了与IC工艺兼容的压力传感器新技术“硅盒技术”,为传感器的制造提供了全新的加工手段,奠定了硅/硅键合技术在微机械的重要地位,国际上这类综述性文章几乎都要引用他的成果,直到1998年还被 Proceedings of The IEEE引用;随后利用硅/硅键合技术进一步研制出了硅一体化微机械谐振器,国际联机检索表明,这一成果属首次报道;还研制了力平衡真空传感器、加速度计及微机械陀螺,其中力平衡真空传感器是全新原理的真空传感器,被邀请发表在1998年8月出版的Proceedings of The IEEE微机械特集上。