徐秋霞

徐秋霞
　　1942年9月29日出生,1966年毕业于浙江大学无线电系半导体器件制造与材料专业。中国科学院微电子研究所研究员。从1979年到现在，共获得中科院科技进步奖11次，其中3次为一等奖，获国家科技进步二等奖和国家技术发明二等奖各一次，获北京市科学技术一等奖和二等奖各一次。在国内外一级学术刊物及国内外学术会议上共发表论文90余篇。以第一发明人申请发明专利11项，均被受理，其中6项发明专利己获授权。作为合作发明人申请发明专利7项，其中1项发明专利己获授权。主导完成的亚30纳米CMOS器件若干关键工艺技术研究获国家技术发明二等奖。