姚汉民

 　　姚汉民 1944年11月生，男，1966年毕业于浙江大学光学仪器系光学仪器专业，研究员，博士生导师。曾任中国科学院成都分院院长、光电技术研究所所长、微细加工光学技术国家重点实验室主任。长期从事光电跟踪光学仪器和微电子光学设备的研究，1979年至今，参加JX-1型接近／接触式光刻机，圆形电子束、可变矩形电子束曝光机激光定位工件台系统，掩模缺陷自动检测系统，1．5 pan～2 btm分步重复投影光刻机等研究工作。主持国家“八五”攻关项目O．8 μm～1μm投影光刻机、中国科学院重大项目0．7μm～O．8 μmi线投影曝光系统的研究。作为项目负责人，主持完成“九五”重大项目O．35μm投影光刻关键单元技术研究。作为首席专家完成中国科学院知识创新工程重大方向性项目“生物芯片仪器”项目研究。先后获国家科技进步三等奖两项，中国科学院科技进步一等奖四项、科技进步二等奖一项。
　　现为国际SPIE学会会员，中国光学学会会员，四川省学术和技术带头人。两次被评为四川省先进工作者，两次被评为电子工业部“七五”、“八五”科技攻关先进个人，获光华科技基金三等奖。发表论文50多篇，授权专利五项，培养博士生、硕士生十余名，学生中获中科院院长奖学金优秀奖3名。九二年享受国家政府特殊津贴。2001年荣获全国“五一”劳动奖章。